熱板烤膠機JS-HP220

產品描述

用於晶圓的單面烘烤，可用於預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠塗覆（Primer Vapor）和後烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應於半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，製版的表面塗覆後，薄膜烘乾，固化。熱板溫度穩定度高，重複性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。

產品規格

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，可定製
控溫範圍：室溫--400℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：≤±0.5℃
溫度均勻性：≤±1%
電源輸入：AC220V 10A
加熱功率：1500W
熱板表面: 由硬質陽極氧化鋁製成

產品特點

精密烤膠機，高精度烘膠機特點：
穩定性能非常好，溫度穩定度可達±0.5℃。
溫度調節範圍寬：室溫-400℃
採用閉環控制，升溫速度快。
具有定時功能。同時帶倒計時顯示功能。
採用數字按鍵控制溫度與時間，溫度與時間設定更加精確。
機身全部採用不鏽鋼，耐酸耐鹼耐腐蝕。
針對客戶基片尺寸大小，提供加熱板定製服務。

可選配功能：
支撐pin材料
邊緣支撐pin
N2吹掃，無氧化烘烤
烘焙距離可調模組
真空腔體
智能型控制系統