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Laurell匀胶机/旋涂仪(劳瑞恩)


Laurell匀胶机/旋涂仪

产品描述

Laurell技术优势
为您精选最佳旋涂解决方案
所有Laurell Technologies 650系列旋涂处理器均标配以下核心优势:
(All Laurell Technologies 650 series spin processors come with the following benefits)
硬件功能
简易编程:无需手册即可快速设置,支持多项高级功能。
(Easy to program without a manual with many advanced capabilities)
时间控制:1秒至99分59.9秒范围,0.1秒步进可调。
(Time: 1 second to 99 minutes 59.9 seconds in 0.1 second increments)
程序存储:20组51步预设程序(支持手动模式),用户可通过SPIN 3000软件自定义步数/程序数量。
(*Programs: twenty 51-step programs or manual mode — number of steps/programs can be user reconfigured through SPIN 3000*)
软件与连接
SPIN 3000:标配成熟PC端控制软件(非必需,系统可独立编程)。
(*SPIN 3000 field-proven advanced PC interface software included, not required to program system*)
蓝牙通信:Class 1标准(100米/328英尺无线范围),无需线缆转换。
(*Class 1 Bluetooth® (100 meter / 328 ft range) — offered as standard (no cable or converter)*)
结构设计
防滴漏顶盖:流体导向后置排水口,开盖时无滴漏风险。
(Fluid-control lid directs materials towards rear drain — no drips encountered when opening chamber)
透明ECTFE材质顶盖:中心开孔直径19毫米(3/4英寸)。
(*Clear ECTFE lid with Ø3/4” (Ø19 mm) center opening*)
透明ECTFE顶盖
中心开孔:直径Ø3/4英寸(Ø19毫米)
(*Clear ECTFE lid with Ø3/4” (Ø19 mm) center opening*)
排水与氮气吹扫
NPP排水口:直径Ø1.5英寸(Ø38毫米),支持氮气吹扫
(Ø1.5” (Ø38 mm) NPP Drain Port and Nitrogen purge)
3. 安全联锁系统
门禁联锁:舱门开启时禁止旋转
(Safety door interlock (disallows rotation when door is open))
门闩设计:需手动操作才能开启工艺舱
(Safety door latch (requires deliberate action to open process chamber))
运行锁定:程序执行中或旋转台未停转时,舱门无法打开
(Safety door lock (prevents chamber opening while program is running, or during chuck rotation after program ends))
真空联锁:真空不足时禁止启动
(Vacuum interlock (disallows rotation when there is insufficient vacuum))
4. 耐腐蚀设计
全密封结构:无金属暴露,可耐受强酸/强碱
(Corrosion-proof configuration (no exposed metal — therefore, no degradation using strong acids or bases))
5. 手套箱兼容配置
持续气密吹扫:需连接压缩干燥空气(CDA)或惰性气体
(Glovebox-ready configuration (Continuous seal purge with CDA or inert gas required))
6. 终身工艺支持
(Lifetime Process Support)


产品规格

650系列,有三种尺寸,从小到大依次是:23系列、8系列、15系列:

圆形基材:Φ150mm(6英寸)、Φ200mm(8英寸)、Φ300mm(12英寸)

方形基材:125mm(5英寸)、178mm(7英寸)、230mm(9英寸)

尺寸对照图
650系列尺寸对照图
WS-650-23NPP
WS-650-23NPP
WS-650-23NPP实物图

产品特点

WS-650-23NPP

【性能卓越】
绝大多数工艺流程都要求更高速度、精确控制及逐级编程的快速加速。切勿轻信他人声称这些特性无关紧要的言论。

【技术支持】
由真正的工艺专家团队为您提供产品全生命周期答疑。故障一日修复保障,或24/7在线订购配件套装,自主完成维修。

【价值典范】
自1985年以来始终定义高价值=Laurell Technologies品牌
以行业最优性价比提供:顶尖企业资质、一流设备配置、完善支持体系

【现货速发】
科研进程分秒必争时,我们为您备妥理想的旋涂解决方案,标准配置通常可在一个工作日内发货

【全能掌控】
650型控制器——编程简易却性能强劲,搭配Spin 3000 PC端交互软件,精密算法与直观界面兼备,随650系统免费标配

触控即可实现:工艺调控·运行监控·参数修正,特别适配手套箱操作场景

【自动化选配】
○ 通用分配器(UD-3)支持:
注射器模式
压力容器模式

【手动选配】
· 注射式点胶装置
○ 基片对准工具组
○ 边缘珠状物清除套件

【选择Laurell的四大理由】
● 数千种卡盘规格可选
○ 模块化轻松升级
· 定制化工程解决方案
● 自1985年来服务超12,000家满意客户